Состав электролитов и режимы анодного травления кремния

Состав электролита	Режим травления
	Плотность тока, мА/см2	Время, мин
10%-й раствор гидроксида натрия Хромовый ангидрид, 2,5 г	160	1
Азотная кислота, 50 мл Вода, 200 мл	10	1,5-2
10%-я фосфорная кислота	10	1-2

^× Источник: Коленко Е. А. Технология лабораторного эксперимента: Справочник. -СПб.: Политехника, 1994. С. 448.